金融界2025年5月21日消息,國家知識產權局信息顯示,拓荊創(chuàng)益(沈陽)半導體設備有限公司申請一項名為“一種可提高控壓精度的蝶閥及其薄膜沉積設備”的專利,公開號CN120007792A,申請日期為20