金融界2025年5月10日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，深圳市三維機電設(shè)備有限公司申請一項名為“一種晶圓生產(chǎn)用晶圓瑕疵檢測裝置及方法”的專利，公開號CN119936058A，申請日期為2025年4月機電設(shè)備。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種晶圓生產(chǎn)用晶圓瑕疵檢測裝置及方法，屬于晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，包括檢測柜以及裝配于檢測柜內(nèi)頂壁上的相機，檢測柜的內(nèi)底壁通過開設(shè)安裝槽裝配有旋轉(zhuǎn)單元，旋轉(zhuǎn)單元包括轉(zhuǎn)動連接于安裝槽內(nèi)的環(huán)架；通過設(shè)置的相機、旋轉(zhuǎn)單元和凸輪件，實現(xiàn)了晶圓在檢測過程中的自動旋轉(zhuǎn)和傾斜，從而能夠同時檢測晶圓表面和邊緣處的瑕疵，顯著提高了檢測效率，同時晶圓在檢測過程中由平放狀態(tài)逐漸傾斜至豎直狀態(tài)的過程中能夠呈現(xiàn)不同的檢測視角，且在豎直狀態(tài)下繼續(xù)跟隨環(huán)架公轉(zhuǎn)的過程中會在面齒輪的驅(qū)使下使真空吸盤帶動晶圓自轉(zhuǎn)，使得晶圓邊緣處所有位置都能被相機拍到，配合使用下，使得相機能夠更全面地捕捉到晶圓表面和邊緣處的瑕疵散射信號機電設(shè)備。

天眼查資料顯示，深圳市三維機電設(shè)備有限公司，成立于2005年，位于深圳市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)機電設(shè)備。企業(yè)注冊資本2000萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，深圳市三維機電設(shè)備有限公司共對外投資了8家企業(yè)，參與招投標(biāo)項目2次，財產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息1條，專利信息80條，此外企業(yè)還擁有行政許可4個。

來源：金融界